LV-Fシリーズは、世界初の冷却測定方式を採用した流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラーです。フィードバック制御のため、外的条件の変化に対する流量変化がなく安定した制御が可能です。コントロールバルブにピエゾアクチュエーターバルブを使用しているため、安定性に優れ、発熱もなく、低沸点の液体の流量制御にも最適です。