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キャニスタークリーニング装置 CC 2180

キャニスタークリーニング装置CC 2180は、希釈機能を備えたキャニスター洗浄装置です。
キャニスターの洗浄ラインとキャニスターへの希釈ライン（加圧）を独立したことで、希釈ラインの汚染の問題が解消されました。
ッキャニスターの保温は専用のマントルヒーターで行います。

特長

  • 洗浄ラインと希釈ラインの独立
  • ダイヤフラムポンプを外置きとしたことによるメンテナンス性の向上
  • 4個のキャニスターを約2時間で高速洗浄
  • マントルヒーターのほかに、オーブンタイプも製造可能
  • カラータッチパネル搭載で優れた操作性

仕様

排気 ターボドラッグポンプ到達真空度0.001kPa 以下
（到達真空度は、キャニスターの状態により悪化する場合があります）
キャニスター接続数 4本（標準）、増設可（別途配管部品が必要）
パージガス（供給ガス） 高純度空気または高純度窒素 300～400 kPa
洗浄時間 約2時間（6Lキャニスターを4本洗浄した場合）
大きさ 400(W) × 500(D) × 576(H) mm (CC 2180本体：突起部除く)
重さ 約40 kg （CC 2180本体）
電源 AC100 V,50/60Hz,15 A
付属品 6Lキャニスター用マントルヒーター×4個、加湿ボトル

品名型式入数Cat.No.価格
キャニスタークリーニング装置CC21801式7010-301207,400,000

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