発生ガス分析

シリコンウエハアナライザー WA 2560シリーズ

• 総合カタログ No.30P. 663

シリコンウエハ加熱部

概要

シリコンウエハ表面から加熱脱離した有機汚染物質の捕集のみを行うオフラインシステムWA 2560Mと、そのままガスクロマトグラフに導入できるオンラインシステムWA 2560をラインアップしています。オフラインシステムは、WA 2560Mでサンプリングを行なった後に、サンプルチューブをWA 2560Mから取り外し、加熱脱離装置に取り付けて測定を行います。従来機のSWA 256Mに新機能を追加し、より高性能な装置としてリニューアルしました。

特長

仕様（オフラインシステムWA 2560M）

仕様（オンラインシステムWA 2560）

注) 上記以外に、20 Lデュワービンセットが付属します。

分析例

この測定データは一定時間（2.5日間、7日間）クリーンルームに放置したシリコンウエハを測定したものです。一番上のクロマトグラムはクリーンルームに放置せずにウエハボックスに7日間保管したシリコンウエハです。
このシリコンウエハ表面にはトータルで2.7ng／cm²（炭化水素C₁₆H₃₂換算値以下同様）の有機化合物が吸着しており、ウエハボックスからの発生ガスである酸化防止剤BHTが検出されています。
中段のクロマトグラムはクリーンルームに2.5日間放置したシリコンウエハです。トータル有機物量はウエハボックス保管ウエハの約3倍の8.1ng／cm²になっています。
さらにクリーンルーム由来のDOA（アジピン酸エステル）DOP（フタル酸エステル）がそれぞれ0.67ng／cm²、1.2ng／cm²検出されています。
一番下のクロマトグラムはクリーンルームに7日間放置したシリコンウエハです。トータル有機物量は2.5日間放置したシリコンウエハの2倍以上の18.8ng／cm²になっています。それに対し、DOA、DOPは約6倍の4.0ng／cm²、7.8ng／cm²検出されているという興味深い結果となっています。