純ガス中不純物分析装置

純ガス中不純物分析装置

• 総合カタログ No.31P.610

純ガス中不純物分析装置

概要

純ガス(He,H₂,Ar等)に含まれる不純物の濃度をガスクロマトグラフにより測定する装置です。
半導体の製造に使用される純ガスは、高純度なものが要求されます。そのため、高純度ガスに含まれる不純物の濃度管理は大変重要です。
純ガス中に含まれる不純物測定の場合、通常のガスクロマトグラフでは主成分が不純物測定の妨害をすることが多く、また成分によっては検出器にダメージを与えてしまう場合もあるため、いかに主成分の影響を受けずに不純物測定を行うかがポイントです。

特長

＊1：パルス放電型検出
＊2：水素炎イオン化検出器

主な用途例

その他の不純物分析装置

紹介した純ガス以外にも様々な分析装置を製造しています。
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実績例