純ガス中不純物分析装置
水素中不純物分析装置
概要
水素中不純物分析装置は、N2をPDD検出器で、CO、CH4、CO2をメタナイザーとFID検出器の組合せで、それぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。
PDD検出器分析ラインでは、H2の一部をプレカットしてN2を定量します。
FID検出器分析ラインでは、H2ガスをキャリヤーガスとして使用します。
CO、CO2は、メタナイザーによりメタン化し、FID検出器により検出します。
自動分析システムのため、スタートスイッチを押すだけでサンプルの注入、プレカットおよびクロマト処理装置のスタートなどができます。
分析成分
- N2,CH4,CO,CO2
主な機器構成
- ガスクロマトグラフ GC4000 FID+PDD 1台
- メタナイザー MT221 1台
- 高純度分析用切換バルブ 3台
- 高純度用流量調節器 1式
- 分析カラム
- データ処理機(EZChrom Elite, パソコン一式)1セット
データ例
保証検出感度
検出器
|
対象成分
|
保証検出感度
|
---|---|---|
PDD
|
N2
|
1.0ppm
|
FID+メタナイザー
|
CO
|
0.5ppm
|
CH4
|
0.5ppm
|
|
CO2
|
1.0ppm
|